半導體晶舟追蹤系

 

半導體晶圓生產製造過程中,因外觀近似,不易以外觀辨別,操作人員在操作過程中容易有錯料、錯置的情形發生。

利用RFID技術,在製程中自動辨識及確認各製程使用了正確的晶舟(圓)及批次,來避免人為的操作錯誤發生。

當晶舟置入SMIF Load Port Transfer進行製程,RFID系統會自動進行晶舟批號讀取。電子標籤內批號需與工單批號完全相符後,才會進行入料,進行後續產品製程作業。


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