半導體晶舟貨架管理系統

 

晶舟(wafer cassette)上的晶圓存放於貨架上時,因外觀近似,不易以外觀辨別,操作人員在拿取過程中容易有錯料、錯置的情形發生。

利用安裝於晶舟上的RFID Tag,並配合貨架儲位上的RFID讀取器能知道各儲位之晶舟的確切資訊狀態(料號、批號…),以避免人員找料的時間浪費,以及人為拿錯料的情形發生。


回首頁 連絡我們